掃描電鏡（SEM），全稱掃描電子顯微鏡，是一種利用電子束掃描樣品表面從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。它能產(chǎn)生樣品表面的高分辨率圖像，且圖像呈三維，掃描電子顯微鏡能被用來鑒定樣品的表面結(jié)構(gòu)，廣泛地應(yīng)用于化學、材料、冶金、醫(yī)學、生物、半導(dǎo)體制造檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。